화성 EUV 생산라인 투입될 듯…규제 후에도 허가신청은 '정상 진행'

일본 정부가 지난달 한국에 대한 3개 핵심소재 수출 규제 강화 방침를 발표한 이후 처음으로 수출을 허가한 '포토 레지스터'는 삼성전자가 신청한 물량인 것으로 8일 알려졌다.

복수의 업계 관계자는 이날 연합뉴스와의 전화통화에서 "일본이 어제 수출을 허가한 극자외선(EUV) 생산라인용 포토 레지스트는 삼성전자가 요청한 것"이라면서 "아직 실제로 반입되지는 않은 것으로 안다"고 말했다.

삼성전자와 SK하이닉스는 지난달 초 일본이 고순도 불화수소(에칭가스), 플루오린 폴리이미드, 포토 레지스트 등에 대한 대(對)한국 수출 규제를 발표한 이후에도 정상적으로 수출 허가를 신청해 온 것으로 전해졌다.

이 가운데 삼성전자의 신청 건에 대해 일본이 규제 발표 이후 처음으로 일부 허가 결정을 내렸다는 게 업계 측 전언이다.

삼성전자는 해당 물량이 실제로 수입되면 즉각 필요한 절차를 거쳐 파운드리 생산시설인 경기도 화성캠퍼스 S3 라인의 EUV 기반 최첨단 공정에 투입할 것으로 알려졌다.

그러나 삼성전자는 이에 대해 공식적으로 확인하지 않은 채 "상황을 파악하고 있다"고만 밝혔다.

앞서 이낙연 국무총리는 이날 정부 서울청사에서 열린 국정현안점검조정회의에서 "일본이 어제 3대 수출규제 품목의 하나인 EUV 포토 레지스트의 한국 수출을 처음으로 허가했다"고 확인했다.

업계 관계자는 "이번 수출 허가는 일본의 '명분 쌓기'로 받아들여진다"면서 "한국에 대해 정상적으로 수출 허가 절차가 진행되고 있다는 점을 보여주기 위한 의도이지만 거꾸로 말하면 '입맛대로' 허가할 수 있다는 의미"라고 지적했다.

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